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3D線光譜輪廓儀
產(chǎn)品類別:3D線光譜輪廓儀

技術(shù)亮點(diǎn)

■ 2D線光譜共焦傳感器,

光斑尺寸:(1~10) μm * (1~19) mm

X方向分辨率:1μm,

Z軸重復(fù)精度:0.1μm

采樣頻率:3.5KHz

■ 重復(fù)精度(3σ):±0.3μm

■ 高精度大理石三軸測(cè)量運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

■ 可同時(shí)輸出2D圖/3D圖/ 灰度值/厚度值。

應(yīng)用場(chǎng)景

■ 尺寸/形貌/斷層/孔隙/裂紋檢測(cè)。

■ 密封釘焊接缺陷檢測(cè),極耳焊印檢測(cè)。

■ 涂布邊緣削薄區(qū)輪廓檢測(cè)、厚度全檢。

■ 半導(dǎo)體晶圓形貌檢測(cè)。


圖片4.png

QQ截圖20240425134953.jpg

密封釘焊接缺陷檢測(cè)

QQ截圖20240425135002.jpg

削薄區(qū)輪廓與厚度全檢

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